后又刻贤劫千佛像，历代传承师长、三十五佛、十方诸佛、药师八佛，及诸本尊的石像，并佛名号等很多。

教化完毕，遂把寺事嘱诸大弟子，于1474年十二月，圆寂于札什伦布寺，寿八十四岁。

僧成一生广事弘法，弟子很多，前藏、后藏大小寺院的住持，讲经法师多半是他的弟子。初期最著名的有慧密、祥贤两律师，又有愿祥，班禅贤吉祥、无垢友、施祥等。中期有班禅教理海、名称如意、具力光明等。晚期有庆喜利乐、善慧日、班禅福顶等。

僧成讲说经论，多依据宗喀巴、嘉曹杰和克主杰的注疏而讲，自己的著述有《毗奈耶因缘大集》、《律经大疏》、《别解脱经注》、《释觉论疏》、《正理庄严论》、《中观论疏》、《入中论疏》，诸佛菩萨的赞颂、愿文等，约数十种。另有《俱舍颂释》，是他的大弟子菩提祥等听他讲说作的笔记。

达赖二世（1475～1542）︰法名根敦嘉措（Dge-gdun-rgya-mtsho），意译僧海。生于后藏。初以灵异著称。于札什伦布寺嗣法王位，统治藏事。继又依藏人之请，移居拉萨之别蚌寺。由于名德愈隆，威神益显，入室弟子愈来愈多，乃使该寺无法收容。因此在别蚌寺侧另创一寺，名曰兜率宫（一名群可尔汪寺），以为新学喇嘛研教之地。明·正德（1506～1521）中，武宗遣使率将士千人迎之，师不欲往。明使以兵力相威胁，然终于无功而返。嘉靖二十一年示寂，世寿六十八。后人追认为第二世达赖喇嘛。

达赖三世（1543～1588）︰法名索南嘉措（Bsod-nams-rgya-mtsho），意译福海。生于前藏。四岁入别蚌寺，作为该寺前任座主根敦嘉措之转世灵童。此为格鲁派实行活佛转世制度之始。七岁受沙弥戒，曾广从诸师研习显密诸经论与受灌顶。十岁正式任别蚌寺座主，二十二岁受具足戒。藏人及青海河套诸蒙古部皆向服之，蒙古俺答汗尤加尊信。明·万历六年（1578），俺答汗赠师以‘法王金刚持达赖喇嘛’称号，此即‘达赖喇嘛’名号之起源。其后，由其身转世之喇嘛，皆称达赖。后人上溯其师承，而以索南嘉措为第三世达赖喇嘛。

又，据闻俺答汗在入藏迎师之际，中途入侵瓦剌，但为所败，乃回归青海，建仰华寺令师居之，并大会诸部，谋报复瓦剌。然为师所劝止，师且戒以勿好杀。及师入蒙古后，又大弘法教，显扬密法，并屡现奇祥异瑞，自是蒙古人益加信服。藏传佛教在蒙古地区亦愈加风行。

万历十六年，神宗遣使以千人厚礼来迎，适与察哈尔图们汗来迎之千人相遇。师云︰‘二大汗均系为众生来迎，极欲前往，奈大力汗之使已先到，今将往他处弘法利济矣。’至三月十六日，集大众及两国使者，告诫毕，即入极乐通慧神变三昧，泊然而寂，享年四十六。

达赖四世（1589～1616）︰法名云丹嘉措（Yon-ton-rgya-mtsho），意译功德海。内蒙古土默特（今呼和浩特）人，俺答汗之曾孙。明·万历二十年（1592）被认为系达赖三世的转世。万历三十年由内蒙古入藏。次年抵拉萨别蚌寺，受沙弥戒。后拜班禅四世为师。万历四十二年从班禅四世受比丘戒，并就任别蚌、色拉二寺堪布。卒于别蚌寺。

达赖五世（1617～1682）︰法名善慧海，又译阿旺罗桑嘉措（Nag-dban% blo-bzan%rgya-mtsho）。

善慧海于明·万历四十五年（1617），生在雅陇穹结钦瓦达则宫，父名货都堵饶敦，母名墀绛滚噶拉则，到天启二年（1622），他六岁由班禅善慧法幢认定，于二月二十五日，由藏王福法增和色拉、哲蚌两寺的僧俗一万多人，隆重迎接到哲蚌寺噶登宫中举行升座典礼。后来由班禅给他落发，先传受近事五戒，法名善慧海。天启五年（一说天启四年），他九岁仍以班禅为亲教师，请噶登墀巴宝法增为阿阇黎，受沙弥戒。其法号增为‘语自在善慧海无畏铠能仁圣教壮盛军’。以后从班禅受学《菩提道次第论》等许多传承。又依止宝法增详学《因明》、《律经》、《俱舍》、《现观庄严》和《入中论》等五部大论。到崇祯十一年（1638 ）三月初五日，仍以班禅为亲教师，在拉萨大招寺释迦佛像前，受由前弘期传来的比丘戒（又称下律仪）。清·康熙十六年（1677），六十一岁时，十月二十五宗喀巴纪念日，又在布达拉宫，从霞炉堪钦福胜成受迦湿弥罗国释迦室利论师（1127～1225）所传来的比丘戒。

顺治九年（1652），三十六岁，受清顺治皇帝的召请，来北京弘法，沿途对西康、青海、蒙古各地的寺庙僧俗广作财法各种布施。到北京时，清帝与后妃太子并诸亲王请受灌顶，赐以金册金印，封为‘西天大善自在佛掌领天下释教普通瓦赤拉旦拉达赖喇嘛’。顺治十年（1653）十月二十五日回到拉萨大招寺，以后返回哲蚌寺。

康熙二十一年（1682）二月二十五日在布达拉宫逝世，寿六十六岁。

善慧海除从班禅和噶登墀巴受学黄教所传的各种经论教授之外，又从茶仓巴胜慧金刚听受大藏经的传承和医方明的传承。对于密法方面，则从昆敦拔觉伦主受学新旧所传的许多种密法，从素勤法界解脱受学宁玛派所传的八大修行部的密法教授，从得达凌巴受学各种埋藏的密法等。又从内萨巴（即福胜）受学《金刚鬘论》的总灌顶，和时轮金刚等别传灌顶、随许等法，并学萨嘉派的道果教授等。

对诸明处，除从胜慧金刚学医方明的论典外，又从门卓泽旺敦主父子，学习声明诸论（《迦拉巴经》、《旃陀罗经》、《音韵学》、《藏文文法学》和《诗词学》等）和塑像建塔等工巧明诸书。又从栋薄敦主旺贾学习历数等法。因而他对显密诸教、大小诸乘、内外明处，无不精研，成为一代的大论师。

在西藏中心地区的布达拉山，从前在松赞冈布（569～650）王时，已曾在山上建筑过宫殿，但年代久远颓废，仅剩少许房屋，自从固始汗统一全藏政权，就把它献给达赖喇嘛，于清·顺治二年（1645）修建布达拉宫。

善慧海的著述，总有外、内、密三大类。外集是一般性的教法，共有二十一函（现在流通本为二十一函；佛海所编的传记中作二十三函）。内容可分为六类︰

第一传记类︰有《五世达赖喇嘛自传》、《三世达赖喇嘛福海传》、《四世达赖喇嘛功德海传》和《西藏王臣史》等十八种。

第二注疏类︰有《入中论疏》、《现观庄严论释难》、《俱舍论疏》和《羯摩仪轨疏》等六种。

第三密法类︰有《供养上师仪轨》、《能怖金刚常修法》、《红阎曼德迦五尊修法》和《胜乐五尊修法》等三十七种。

第四赞咏类︰有《十方诸佛菩萨学无学僧伽赞》等五种。

第五教授教诫类︰有《菩提次第讲授》、《甚深中观修法》、《三种主要道密意疏》和《普告汉藏胡蒙贵贱文》等十种。